22n光刻技术制程,光刻胶的厚度要🍐🗀求达到了是100n右。
太厚曝光不足,太薄又无法有效⛾☙的形成光阻,不能阻挡等离子体对衬底的刻蚀,非常的麻烦,必须🖜要严格按照标准来镀膜。
钟子星与江浩然两人都穿着白大衣,带着🏊😜护目镜和口罩,身🞿边还跟着几位助🞥🖍手,独占一间实验室。
“第20次实验,厚度依然无法达标……”
江浩然操🆢作着一台电子显示器,屏🁟🕞幕上的光刻胶厚度以数学模型呈现,均匀🞥🖍分布,但是远远无法达到顶尖的水准。
稍微低端🆢的刻蚀足够,但绝对无缘顶级市场。
“得从其他方面入手!”
“比如加入一些别的材料?硅材料或碳材料!”钟子星双手🞿扶着白色的实验台,陷入沉思。
以传统的方式进入光刻胶领域,想要超越深耕此道数十年的老牌巨头显然是不🆠现实的,得走一走别的路才行。
“试试看,开始第21次实验!”
科研就是在失败中前进,没🜴有人能形容找到🞂👔🈣路时那种心情,重要的是敢于尝试。
“好!”江浩然话不多,能动手绝不多说。
两人加上数个助理立刻开始投入新的实验,在光刻胶🖇🐟中加入其他材料,无论是光敏强或弱,都在试验范围之内。
把含硅光刻胶旋涂在一层较厚的聚合物材料,设⚻🖣想中,其对光是不😁敏感的。
“曝光显影,用氧等离子体刻蚀,把光刻🏊😜胶上的图形转移到🞿聚合材料上🝗。”
“行!”